電子產(chǎn)品出產(chǎn)中純水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品出產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求,結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供給等情況,通過技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較來選擇。純水系統(tǒng)的原水水質(zhì)因 各地區(qū)、城市的水源不同相差很大,有的城市以河水為水源,即使是河水,其河水的源頭和沿途流經(jīng)地區(qū)的地質(zhì)、地貌不同,水質(zhì)也是不同的;有的城市以井水為水源,井的深度不同、地域不同、地質(zhì)構(gòu)造不同均會(huì)千差萬別;現(xiàn)在不少城市的水源包括河水、湖水、井水等,有的城市各個(gè)區(qū)、段供水水質(zhì)也不相同。
所以純水系統(tǒng) 的選擇,根據(jù)原水水質(zhì)的不同,差異很大,是否選擇原水預(yù)處理,預(yù)處理設(shè)備的種類、規(guī)模都與原水水質(zhì)有關(guān)。因此電子工廠潔凈廠房的純水系統(tǒng)的選擇應(yīng)根據(jù)原水 水質(zhì)和電子產(chǎn)品出產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求,結(jié)合純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量以及當(dāng)時(shí)、當(dāng)?shù)氐募兯O(shè)備、材料供給等情況,綜合進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。
在超大規(guī)模IC的超純水水質(zhì)中,優(yōu)先關(guān)注的水質(zhì)指標(biāo)為:電阻率、微粒、TOC(總有機(jī)硅)、硅、堿金屬、堿土金屬、重金屬、溶解氧等。水溶液之所以導(dǎo)電,是由于水中各種溶解鹽都是以離子態(tài)存在的,在IC芯片制造過程中,與硅片接觸的水所含離子越多,對(duì)產(chǎn)品良率影響就越大。電阻率反映了超純水中離子的含量,超純水的電阻率越高,其純度也就越高。 一般來講,在25℃時(shí),理論純水的電阻率是18.25MΩ·cm。超純水制備系統(tǒng)需完備
? 當(dāng)了解了超純水中雜質(zhì)對(duì)器件的影響后, 如何確定超純水系統(tǒng)流程以保證出產(chǎn)設(shè)備對(duì)超純水水質(zhì)的要求就成為超純水系統(tǒng)所要解決的首要題目。IC工廠的純水制備系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)及工藝出產(chǎn)設(shè)備要求 的超純水水質(zhì)來確定,一般由下列4部門組成:預(yù)處理系統(tǒng)、一次純水處理系統(tǒng)、超純水制取系統(tǒng)、回收水系統(tǒng).超大規(guī)模IC清洗設(shè)備要求的水質(zhì)幾乎均為超純水,這些清洗設(shè)備用水點(diǎn)的排水幾乎全部可以回收,經(jīng)回收處理后的水一部門可以作為冷卻塔和廢氣洗滌塔的補(bǔ)水,另一部門可以與超純水制備預(yù)處理系統(tǒng)的出水一起進(jìn)入預(yù)處理水池,作為超純水制備的增補(bǔ)水。目前,在實(shí)際工程中,水的回收率可以達(dá)到70%。要使回收水系統(tǒng)達(dá)到良好的處理效果,除 了需要確定公道的處理流程外,出產(chǎn)設(shè)備排水的分類收集也長短常重要的,這樣做,可以防止高濃度TOC和其他不純物質(zhì)進(jìn)入回收水系統(tǒng)。--超純水裝置,
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