專業(yè)述語(yǔ)所說(shuō)高純水和我們平時(shí)所說(shuō)的飲用純凈水是兩種不同的水質(zhì)，由于高純水制作過(guò)程中使用了一些化學(xué)成份的東西，且處理完后水中除了水不含任何的物質(zhì)。對(duì)人體是無(wú)益的。
高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有： 1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求； 2.制水工藝的水平； 3.檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。 在高純水的生產(chǎn)過(guò)程中，水中的陰、陽(yáng)離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹(shù)脂技術(shù)等去除；水中的顆粒一般可用超濾、反滲透膜過(guò)濾等技術(shù)去除；水中的細(xì)菌，目前國(guó)內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中，水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導(dǎo)致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。
天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產(chǎn)過(guò)程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過(guò)程中，加入了一些化學(xué)殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一。
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